精密直线光轴在实际应用中有良好的使用效果，但是它既然被称为精密直线光轴，那对于其精度方面的要求自然要比一般的直线光轴还要高。这些严格的要求主要体现在尺寸、形状、位置等多个方面。
以精密直线光轴的尺寸精度来说，一般都要求在IT5~IT7，算是比较高的了。而直线光轴的几何形状精度主要是指轴颈、外锥面、莫氏锥孔等的圆度、圆柱度等，一般应将其公差限制在尺寸公差范围内。
后是其相互位置的精度，这方面主要是由轴在机械中的位置和功用决定的，通常应装配传动件的轴颈对支承轴颈的同轴度要求，否则会影响传动件的传动精度。这么说来的话，通常高精度轴的位置精度为0.001~0.005mm。
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